최첨단 ArF 액침 리소그래피 광원 ‘GT66A’ 본격 가동

반도체 리소그래피용 광원 제조 업체인 기가포톤 주식회사(Gigaphoton Inc.)(본사: 토치기현 오야마시 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 최첨단 ArF 액침 리소그래피 광원 ‘GT66A’가 세계 반도체 제조 업체에서 본격적으로 가동하고 있다고 발표했습니다. 최근 디지털 기기나 클라우드 설비가 세계적 규모로 급속하게 증가하면서 이들에 사용되는 반도체 수요도 급격히 늘고 있...