기가포톤, 미세화 최전선 대응을 위한 ArFi 광원 GT66A 양산 출하 개시

반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 신기술을 채용한 최신 반도체 제조 ArF 액침용 리소그래피 광원 ‘GT66A’의 양산 출하를 시작했다고 발표했습니다. 현재 로직 디바이스로는 3nm 노드의 프로세스 개발을 시작, DRAM으로는 1Znm 노드의 양산을 시작해 최첨단 디바이스를 제조하고 있습니다. 이...