기가포톤, 2020년 신형 레이저 도입 발표

반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 2020년 신기술을 채택한 최신 반도체 제조 리소그래피용 광원, ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’와 KrF 레이저 ‘G60K’의 2기종을 신제품으로 라인업한다고 발표했다. 최근 IoT 보급과 AI의 실용화로 반도체 용도가 확대됨에 따라 반도체 칩에는 통신 속도의 고속화...